H&irujaProducts

이루자 제품소개

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이루자 제품소개

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제품의 특장점

제품의 특장점

차세대 디스플레이 제조에 필요한 새로운 기술이 가장먼저 적용됩니다.

Flexible OLED

Cluster SPUTTER 국산화 성공
OLED SPUTTER 고유기술 다량 보유

Flexible Touch Panel

유기물 보호를 위한 저온증착 기술 성공
폴더블 OLED로의 확장성 제공

Core Technology

저온증착용 ESC, 로터리 캐소드 내재화
자기부상 캐리어, 특수 캐소드 개발

핵심 제품

세계최고 CLUSTER SPUTTER인 CREJU는 OLED 제조 공정 중 여러 부분에 적용되고 있습니다.

LT-CREJU

성막 중 기판을
낮은 온도로 유지함으로써
유기물에 손상 없이 전극
물질을 성막하는 장비

MT-CREJU

물질 성막 시
결정화되지 않도록
Heater 없이
중온에서 성막하는 장비

HT-CREJU

기판을 200도 이상의
고온으로 유지하면서
고품질 물질을
성막하는 장비

Ox-CREJU

차세대 디스플레이
구현을 위해 Si 대신
산화물을 성막하는 장비

CLUSTER SPUTTER (CREJU 5.5G, CREJU 6G)

CREJU Series는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 산화물이나
금속 물질을 진공 상태에서 스퍼터링 방식으로 증착하는 장비입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동합니다.

CLUSTER SPUTTER (CREJU 5.5G, CREJU 6G)

CREJU Series는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 산화물이나 금속 물질을 진공 상태에서 스퍼터링 방식으로 증착하는 장비입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동합니다.

IN-LINE SPUTTER (IVIC)

IVIC Series는 주로 평판디스플레이 제조를 위해
대면적 기판에 산화물이나 금속 물질을 진공 상태에서
기판을 정지 또는 이동 방식으로 증착하는 장비입니다.
기판은 캐리어에 의해 이동합니다.

IN-LINE SPUTTER (IVIC)

IVIC Series는 주로 평판디스플레이 제조를 위해 대면적 기판에 산화물이나 금속 물질을 진공 상태에서 기판을 정지 또는 이동 방식으로 증착하는 장비입니다. 기판은 캐리어에 의해 이동합니다.

ROLL TO ROLL SPUTTER (TWABI 1600)

TWABI 1600은 Flexible 기판에 금속 물질과
산화물질을 진공 상태에서 증착하는 장비입니다.

ROLL TO ROLL SPUTTER (TWABI 1600)

TWABI 1600은 Flexible 기판에 금속 물질과 산화물질을 진공 상태에서 증착하는 장비입니다.

EVAPORATOR (NIVRO)

NIVRO는 기존의 Point 증착원이 구성된 증착기가 아닌.
Linear 증착원을 통해 OLED 제조용으로 유기 물질을.
진공 상태에서.기판의 정지또는 이동 방식으로.
증착 하는 장비입니다.

EVAPORATOR (NIVRO)

NIVRO는 기존의 Point 증착원이 구성된 증착기가 아닌 Linear 증착원을 통해 OLED 제조용으로 유기 물질을 진공 상태에서 기판의 정지또는 이동 방식 으로 증착 하는 장비입니다.

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