H&irujaProducts

이루자 제품소개

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이루자 제품소개

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CLUSTER SPUTTER(CREJU)

CLUSTER SPUTTER(CREJU 5.5G, CREJU 6G)

CREJU Series는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 산화물이나 금속 물질을
진공 상태에서 스퍼터링 방식으로 증착하는 장비입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동합니다.

  • TYPE
    Horizontal-Pass,
    Vertical-Depo. Type
  • 특징
    Multi layer 형성 가능
  • 특장점
    Cathode부의 Magnet을
    세밀하게 움직여
    박막 품질을 개선하고
    타겟 효율을 극대화

EFFICIENCY / 성능

[주식회사 에이치앤이루자]
충청남도 아산시 둔포면 석곡리 1341번지(아산밸리북로 110) T. 070-8680-4100 / F. 070-8244-1177
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