H&irujaProducts

이루자 제품소개

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IN-LINE SPUTTER(IVIC)

IN-LINE SPUTTER(IVIC)

IVIC Series는 주로 평판디스플레이 제조를 위해 대면적 기판에 산화물이나 금속 물질을
진공 상태에서 기판의 정지 또는 이동 방식으로 증착하는 장비입니다. 기판은 캐리어에 의해 이동합니다.

  • TYPE
    Vertical-Pass, Vertical-Depo. Type
  • 특징
    Transfer particle control

EFFICIENCY / 성능

[주식회사 에이치앤이루자]
충청남도 아산시 둔포면 석곡리 1341번지(아산밸리북로 110) T. 070-8680-4100 / F. 070-8244-1177
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