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IRUJA 产品介绍

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이루자 제품소개

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CLUSTER SPUTTER(CREJU)

CLUSTER SPUTTER(CREJU 5.5G, CREJU 6G)

CREJU Series, 为了OLED制造, 在真空条件下, 将氧化物或金属材料
以溅射方式镀膜于大面积基板的设备. 基板是被真空机械手搬送的。

  • TYPE
    Horizontal-Pass,
    Vertical-Depo. Type
  • 特色
    可形成Multi layer
  • 特别优点
    能精密调整位于
    Cathode的Magnet,
    可改善膜质,
    靶材效率也可极大化

EFFICIENCY / 性能

[株式會社 H&iruja]
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