产品介绍
H&IRUJA具备新一代显示及半导体制造行业中所必须及优质的溅射技术
产品介绍
H&IRUJA具备新一代显示及半导体制
造行业中所必须及优质的溅射技术
作为产业中通用SPUTTER， 在wafer上将金属物在真空环境下
以溅射的方式进行蒸镀及移送wafer的设备
- TYPEHorizontal Pass with CARRIER
Horizontal -Depo
- 优势可形成Multi Layer
Low Particle
Target 利用率最大化
可Auto T-M的 magnet 优化均匀度
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