产品介绍
H&IRUJA具备新一代显示及半导体制造行业中所必须及优质的溅射技术
产品介绍
H&IRUJA具备新一代显示及半导体制
造行业中所必须及优质的溅射技术
H-THEIA 515T针对大尺寸玻璃基板的TGV工艺进行了优化，可实现稳定的工艺性能和高精度的薄膜厚度均匀性。
通过基于仿真的工艺优化及自动调谐技术，支持高质量TGV结构的形成与稳定量产。
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal deposition
- 优势优异的附着力及台阶覆盖性能
基于仿真的优化天线设计
通过Vacuum Flip实现真空环境下的双面沉积
采用Auto TM，实现便捷的均匀性调节
H-THEIA 515R基于精密的工艺控制和稳定的工艺能力，可在大尺寸Panel上均匀形成Seed Layer，
并有效控制Etch及PVD工艺的均匀性，从而实现高质量RDL制备并确保量产稳定性。
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal deposition
- 优势优异的附着力及Native Oxide去除能力
基于仿真的优化天线设计
采用Auto TM，实现便捷的均匀性调节
通过全面沉积提升电镀均匀性
H-XION 300-B基于均匀的Seed Layer和稳定的工艺重复性，
通过便捷易用的自动化功能和精密的工艺控制，支持设备的简便、稳定运行。
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal deposition
- 优势优异的接触电阻性能
基于仿真的优化天线设计
采用Auto TM，便于进行均匀性调节并提高Target利用率
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