제품소개
H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한 우수한 증착기술을 보유하고 있습니다
제품소개
H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한
우수한 증착기술을 보유하고 있습니다
H-THEIA 515T는 대면적 glass 기반의TGV 공정에 최적화된 안정적인 공정 성능과 정밀한 막 두께 균일도를 구현하며,
시뮬레이션 기반의 공정 최적화와 자동 튜닝 기술로 고품질 TGV 형성 및 안정적인 양산을 지원합니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal deposition
- 특장점우수한 Adhesion 및 Step coverage
Simulation 기반의 최적화된 antenna설계
Vacuum Flip을 통한 진공 상태 양면 증착
Auto TM 적용으로 간편한 Uniformity Tuning
H-THEIA 515R은 대면적 Panel의 균일한 Seed Layer 형성을 위한 정밀한 공정 제어와 안정적인 공정 능력을 기반으로,
Etch 및 PVD 공정의 균일도를 효과적으로 제어하여 고품질 RDL 구현과 양산 안정성을 제공합니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal deposition
- 특장점우수한 Adhesion 및 Native oxide 제거
Simulation 기반의 최적화된 antenna설계
Auto TM 적용으로 간편한 Uniformity tuning
전면 증착을 통한 도금 균일도 향상
H-XION 300-B는 균일한 Seed Layer와 안정적인 공정 재현성을 기반으로,
고객 친화적인 자동화 기능과 정밀한 공정 제어를 통해 쉽고 안정적인 장비 운영을 지원합니다.
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal deposition
- 특장점우수한 Contact Resistance
Simulation 기반의 최적화된 antenna설계
Auto TM 적용으로 쉬운 uniformity tuning 및 Target 사용량 증가
제품문의
저희 제품에 관심을 가져주셔서 감사합니다 궁금한 사항이나 더 자세한정보를
원하시면 아래의 링크를 통해 보내주시면 빠른 시일 내에 답변 드리겠습니다
저희 제품에 관심을 가져주셔서 감사합니다 궁금한 사항이나 더 자세한정보를 원하시면 아래의 링크를 통해 보내주시면 빠른 시일 내에 답변 드리겠습니다