제품소개

H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한 우수한 증착기술을 보유하고 있습니다

제품소개

H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한
우수한 증착기술을 보유하고 있습니다

CREJU

BPLTOXMC
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CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물질을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 증착하는 장비 입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동을 합니다

  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Vertical-Depo
  • 특장점
    MULTI LAYER 형성 가능
    기판히팅기능
    Low particle
    One target & 타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물질을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 증착하는 장비 입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동을 합니다

  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Vertical-Depo
  • 특장점
    기판 냉각 기능으로 저온성막이 가능
    MULTI LAYER 형성 가능
    Low particle
    One target & 타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질과 산화막을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 증착하는 장비 입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동을 합니다

C_OX
  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Vertical-Depo
  • 특장점
    MULTI LAYER 형성 가능
    기판히팅기능
    Low particle
    타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을
진공상태에서 스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비 입니다

  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Vertical-Depo
  • 특장점
    MULTI LAYER 형성 가능
    Low particle
    타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

IVIC

BPOXMC
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IVIC Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 정지 후 증착하는 장비 입니다. 기판은 LMS를 이용한 자기부상으로 케리어를 이동을 합니다

  • TYPE
    VERICAL Pass with CARRIER
    Vertical-Depo
  • 특장점
    MULTI LAYER 형성 가능
    기판히팅기능
    Low particle
    최적화된 케리어 비접촉 자기부상구동
    타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

IVIC Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비 입니다. 기판은 LMS를 이용한 자기부상으로 케리어를 이동을 합니다

  • TYPE
    VERICAL Pass with CARRIER
    Vertical-Depo
  • 특장점
    MULTI LAYER 형성 가능
    기판히팅기능
    Low particle
    최적화된 케리어 비접촉 자기부상구동
    타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

IVIC Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비 입니다. 기판은 LMS를 이용하여 케리어를 이동을 합니다

  • TYPE
    Horizontal  Pass with CARRIER
    Horizontal -Depo
  • 특장점
    MULTI LAYER 형성 가능
    Low particle
    타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

ART

ART 시리즈는 OLED 제조를 위한 무기막을 진공상태에서
PECVD 방식으로 증착하는 장비 입니다

  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Horizontal -Depo
  • 특장점
    High/Low Temperature PECVD
    Link/Hybrid Type Vacuum Robot
    Multi Layer
    Heating Chamber
    High Throughput
    Low Particle

제품문의

저희 제품에 관심을 가져주셔서 감사합니다 궁금한 사항이나 더 자세한정보를
원하시면 아래의 링크를 통해 보내주시면 빠른 시일 내에 답변 드리겠습니다

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