제품소개
H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한 우수한 증착기술을 보유하고 있습니다
제품소개
H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한
우수한 증착기술을 보유하고 있습니다
CREJU
CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물질을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 증착하는 장비 입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동을 합니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Vertical-Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
기판히팅기능
Low particle
One target & 타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물질을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 증착하는 장비 입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동을 합니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Vertical-Depo
- 특장점기판 냉각 기능으로 저온성막이 가능
MULTI LAYER 형성 가능
Low particle
One target & 타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질과 산화막을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 증착하는 장비 입니다. 기판은 진공 로봇에 의해 이동을 합니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Vertical-Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
기판히팅기능
Low particle
타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
CREJU Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을
진공상태에서 스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비 입니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Vertical-Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
Low particle
타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
IVIC
IVIC Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 정지 후 증착하는 장비 입니다. 기판은 LMS를 이용한 자기부상으로 케리어를 이동을 합니다
- TYPEVERICAL Pass with CARRIER
Vertical-Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
기판히팅기능
Low particle
최적화된 케리어 비접촉 자기부상구동
타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
IVIC Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비 입니다. 기판은 LMS를 이용한 자기부상으로 케리어를 이동을 합니다
- TYPEVERICAL Pass with CARRIER
Vertical-Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
기판히팅기능
Low particle
최적화된 케리어 비접촉 자기부상구동
타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
IVIC Series 는 OLED 제조를 위해 대면적 기판에 금속 물질이나 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비 입니다. 기판은 LMS를 이용한 자기부상으로 케리어를 이동을 합니다
- TYPEHorizontal Pass with CARRIER
Horizontal -Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
Low particle
타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
ART
ART 시리즈는 OLED 제조를 위한 무기 절연막을 진공상태에서
Plasma Enhanced CVD방식으로 증착하는 장비 입니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal -Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
기판히팅기능
Low particle
Semi Deposition
CREJU Series는 PLP(Panel Level Package) 제조를 위해 기판에 금속 물질을
진공상태에서 스퍼터링 방식으로 기판 이동, 증착하는 장비 입니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Vertical-Depo
- 특장점Multi layer 형성 가능
Low particle
우수한 contact 저항 및 adhesion
Target 효율 극대화
Auto T-M 가능한 Magnet으로 uniformity 최적화
CREJU Series는 WLP(Wafer Level Package) 제조를 위해 기판에 금속 물질을
진공상태에서 스퍼터링 방식으로 기판 이동, 증착하는 장비 입니다
- TYPEHorizontal Pass with vacuum robot
Horizontal-Depo
- 특장점Multi layer 형성 가능
기판 heating기능
우수한 contact 저항 및 adhesion
Industrial Deposition
산업용 범용 SPUTTER로 Wafer에 금속, 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비입니다
- TYPEHorizontal Pass with CARRIER
Horizontal -Depo
- 특장점MULTI LAYER 형성 가능
Low particle
타겟 효율 극대화
Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화
제품문의
저희 제품에 관심을 가져주셔서 감사합니다 궁금한 사항이나 더 자세한정보를
원하시면 아래의 링크를 통해 보내주시면 빠른 시일 내에 답변 드리겠습니다
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