제품소개

H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한 우수한 증착기술을 보유하고 있습니다

제품소개

H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한
우수한 증착기술을 보유하고 있습니다

Semi Deposition

H-THEIA 515T는 대면적 glass 기반의TGV 공정에 최적화된 안정적인 공정 성능과 정밀한 막 두께 균일도를 구현하며,
시뮬레이션 기반의 공정 최적화와 자동 튜닝 기술로 고품질 TGV 형성 및 안정적인 양산을 지원합니다

  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Horizontal deposition
  • 특장점
    우수한 Adhesion 및 Step coverage
    Simulation 기반의 최적화된 antenna설계
    Vacuum Flip을 통한 진공 상태 양면 증착
    Auto TM 적용으로 간편한 Uniformity Tuning

H-THEIA 515R은 대면적 Panel의 균일한 Seed Layer 형성을 위한 정밀한 공정 제어와 안정적인 공정 능력을 기반으로,
Etch 및 PVD 공정의 균일도를 효과적으로 제어하여 고품질 RDL 구현과 양산 안정성을 제공합니다

  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Horizontal deposition
  • 특장점
    우수한 Adhesion 및 Native oxide 제거
    Simulation 기반의 최적화된 antenna설계
    Auto TM 적용으로 간편한 Uniformity tuning
    전면 증착을 통한 도금 균일도 향상

H-XION 300-B는 균일한 Seed Layer와 안정적인 공정 재현성을 기반으로,
고객 친화적인 자동화 기능과 정밀한 공정 제어를 통해 쉽고 안정적인 장비 운영을 지원합니다.

  • TYPE
    Horizontal Pass with vacuum robot
    Horizontal deposition
  • 특장점
    우수한 Contact Resistance
    Simulation 기반의 최적화된 antenna설계
    Auto TM 적용으로 쉬운 uniformity tuning 및 Target 사용량 증가

제품문의

저희 제품에 관심을 가져주셔서 감사합니다 궁금한 사항이나 더 자세한정보를
원하시면 아래의 링크를 통해 보내주시면 빠른 시일 내에 답변 드리겠습니다

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