제품소개

H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한 우수한 증착기술을 보유하고 있습니다

제품소개

H&iruja는 차세대 디스플레이와 반도체 제조에 필요한
우수한 증착기술을 보유하고 있습니다

Industrial Deposition

산업용 범용  SPUTTER로 Wafer에 금속, 산화물을 진공상태에서
스퍼터링 방식으로 기판 이동중 증착하는 장비입니다

  • TYPE
    Horizontal  Pass with CARRIER
    Horizontal -Depo
  • 특장점
    MULTI LAYER 형성 가능
    Low particle
    타겟 효율 극대화
    Auto T-M 가능한 마그넷으로 유니포미티 최적화

제품문의

저희 제품에 관심을 가져주셔서 감사합니다 궁금한 사항이나 더 자세한정보를
원하시면 아래의 링크를 통해 보내주시면 빠른 시일 내에 답변 드리겠습니다

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[주식회사 에이치앤이루자]
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